UNIPOL-1203化学机械磨抛机,适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
UNIPOL-1260真空加热调压研磨抛光机可用于对于人工晶体、陶瓷、红外光学材料(如硒化锌、硫化锌、硅、锗等晶体)、石英玻璃、岩石等材料的研磨抛光,以及白宝石、蓝宝石等硬脆性材料的研磨抛光。本机载样盘采用真空吸附方式,研磨盘可加热至150℃,且温度可控。
UNIPOL-1500M-16自动压力研磨抛光机主要用于材料研究领域。适用于金属、陶瓷、玻璃、红外光学材料(如硒化锌、硫化锌、硅、锗等晶体)、岩样、矿样、复合材料、有机高分子材料等材料样品的自动研磨抛光,也可用于工厂的小规模生产。该机具有加工精度高,性能稳定可靠,操作简单,适用范围广的特点。
UNIPOL-800M多点机械压力研磨抛光机采用三点机械弹簧加压,顶柱在压力弹簧的作用下将载物盘中的样件压在旋转的磨抛盘上,使样件在一定压力下随着盘的移动进行研磨抛光,从而实现样件定位与磨抛。还特别设有一个机械支撑臂磨抛工位,可进行易解理、易破碎材料的磨抛,磨抛样品的过程中,固定有样品的重力载物盘随着机械摆臂的摆动进行磨抛,
UNIPOL-1200M自动压力研磨抛光机主要用于材料研究领域,广泛使用于各大专院校、科研院所实验室的金属、陶瓷、玻璃、红外光学材料(如硒化锌、硫化锌、硅、锗等晶体)、岩样、矿样、复合材料、有机高分子材料等材料样品的自动研磨抛光,尤其适用于研磨经镶嵌后呈圆柱状的小块样品,另可用于锆石测年靶材制备以及工厂的小规模生产等。