GSL-1800X-III是一款1800℃三温区管式炉,采用进口 Kathal Super-1900C 硅钼棒作为加热元件,以氧化铝纤维板作为炉膛材料,并且内部嵌有氧化锆纤维。仪器配有60*1200mm的刚玉管和一套不锈钢法兰,法兰上开有dia30mm的石英窗口,以供客户使用。
GSL-1700X-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。 GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三温区管式炉
OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款双温区带有升降双通道进料系统的共蒸发多层沉积管式炉,通过升降双通道进料系统可装载4个不同材料的蒸发坩埚舟,并且可一次同时送入两个蒸发坩埚源进入管式炉中进行共蒸发或反应蒸发。双温区管式炉可以实现快速加热,并且通过对各个温区设置不同的加热温度可以创建不同的温度梯度从而实现蒸发沉积。 OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩埚同时移动型管式炉