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MSK-PSE-ALD1010原子层沉积系统
功能特点 |
|---|
外热式反应腔体，加热结构在真空室外，反应腔室维护保养无需拆卸腔室加热器或样品台加热器；
配有可拆卸片托，支持100mm*100mm方片及以下尺寸的样品；
3路前驱体源系统（包括2路金属源和1路水源）；
高性能真空系统和残余前驱体源处理热阱；
自动控制沉积系统和工艺压力实时检测显示；
可置于手套箱底部与手套箱对接；
可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；
多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；
沉积模式可设为连续模式或停流模式；
外置移动支架显示器操作。
MSK-PSE-ALD1010原子层沉积系统
| 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 电源 | 三相五线制AC380V±10%，频率50Hz/60Hz，功率约12KW | |
| 反应腔体 | 腔室 | 外热式单腔腔室 |
| 样品尺寸 | 最大100mm*100mm方片及以下尺寸 | |
| 反应温度 | 最高150℃ | |
| 前驱体源系统 | 金属源 | 2路标准加热前驱体源 配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动隔膜阀和50mL不锈钢源瓶 源瓶及管路加热温度室温至200℃ |
| 水源 | 1路水源 配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动球阀和50mL不锈钢源瓶 | |
| 载气系统 | 2路载气系统 全套管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能 | |
| 真空系统 | 极限真空 | 小于5×10-3Torr |
| 真空漏率 | 小于5×10-7Pa·L/s | |
| 真空泵抽速 | 40m³/h | |
| 其他配置 | 真空泵前级配置热阱，加热温度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反应的前驱体源 | |
| 真空计 | 真空计前设有保护真空计的高效过滤网，沉积过程中可以实时监测显示腔室压力的变化 | |
| 主机 | PLC+4U工控机+显示器 | |
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