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六源真空蒸镀仪

六源真空蒸镀仪

简要描述:应用范围: MSK-PSE-EC1515六源真空蒸镀仪配备3组有机束源式蒸发源炉+3组舟式蒸发源,可蒸镀切换最多6种有机材料如:Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料;设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作,采用前滑动开门结构。设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。

产品型号: MSK-PSE-EC1515

所属分类:钙钛矿太阳能电池制备

更新时间:2024-04-28

厂商性质:生产厂家

详情介绍
MSK-PSE-EC1515六源真空蒸镀仪配备3组有机束源式蒸发源炉+3组舟式蒸发源,可蒸镀切换最多6种有机材料如:Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料;设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作,采用前滑动开门结构。设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
功能特点
  • 真空腔室:采用304不锈钢腔室,设计有前门双导轨和后门手动铰链结构,前后门带玻璃观察窗及防污挡板。腔室内外表面经过抛光处理,并预留有照明、膜厚仪等设备接口;

  • 真空系统:配备中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径与鲍斯BSV-30机械泵,具有高效的抽气能力,抽气时间短且极限真空度高(优于2.0×10-5Pa),关机12小时后仍可保持良好真空性能;

  • 基片台:抽屉式结构,可承载最大L150mm*W150mm样品,配气动基片大挡板,支持旋转和水冷功能,与蒸发源距离可调,手动升降调节最大50mm可调;

  • 蒸发源及电源:系统配置3组舟式蒸发源,金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构,最高温度可达1500℃;并配备2.4KW蒸发电源,支持恒流和恒压两种驱动模式,可手动/软件控制也可通过膜厚仪PID控制调节蒸发速率;

  • 膜厚控制系统:采用进口INFICON公司的SQC-310膜厚仪,精度高达0.01埃,能自动控制金属蒸发电源输出。同时,还配备了西门子PLC+触摸屏手自动控制系统,可以输入速率和终厚,通过PID调节实现对蒸发电源输出的控制;

  • 多项安全保护功能叠加,安全系数大大增加;

  • 机械泵前加装分子筛,抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件,气路设计避免扬尘;

  • 所有样品台、源挡板,样品台旋转均采用磁流体密封,保证系统长期稳定性。

  • 六源真空蒸镀仪配备

技术参数
电源三相五线制AC380V±10%,频率:50Hz,总功率约8KW
气源压缩空气:干燥、干净、无水、无油的压缩空气,8mm塑料气管,压力5.5~6公斤(0.55-0.6MPA)
氮气:干燥氮气,用于设备腔室破真空,8mm塑料气管,压力1-2公斤(0.1-0.2MPA)
水源流量15-20升/分钟,15~25℃,
进水和出水压差3~4公斤,进水压力3~5公斤,
设备的进水和出水口外径1英寸,
建议在设备的进水口前安装一个球阀,方便调节水压和水流量
真空极限真空极限优于2.0×10-5Pa
漏率:优于5×10-8Pa*L/S(国家标准)
关机12小时后,真空度≤5Pa;(手套箱干燥氮气环境)
抽速抽气时间:大气压~5*10-4Pa,小于25min;(手套箱干燥氮气环境)
真空室304L不锈钢方形真空室,内部电抛光,立式前后开门结构
前门配有带档板直径4英寸观察窗1个(配防污玻璃),后门配有小观察窗用于观察样品源和样品2个(配防污玻璃)
内衬材质:不锈钢,多片结构方便拆卸安装
左侧:连接主阀门和分子泵,真空测量接口
顶部:安装旋转水冷样品台、样品台大挡板、膜厚仪接口各1个
底板:安装金属蒸发电极、有机束源蒸发源炉各3组(预留一组膜厚仪探头安装口)
真空室下方为一体式电控部分,配有万向轮和地脚,方便移动
抽真空系统分子泵+机械泵组合式真空系统,气动阀门
分子泵:中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径,抽速:1300L/S
机械泵:BSV30机械泵,抽速:9L/S
真空阀门:DN40mm 挡板阀2套;中科科仪气动主阀DN200 1套
真空密封:可拆静密封采用氟橡胶圈密封,不常拆静密封采用无氧铜密封
真空计复合真空计(一低一高2个真空计)
自动控制切换低真空、高真空测量,范围:大气到5E-9torr
真空读数输入PLC,用于工艺控制
蒸发源配备3组舟式蒸发源。带2.4KW电源1套恒流恒压模式
配备3组有机束源蒸发源,配套3组坩埚,加热温度:0~700℃,角度可调范围:15°
配备3台有机蒸发电源,配备实时显示坩埚温度日本导电温控仪,可程序段控温
工件架配有自转电动工件盘,一次性放置最大150*150mm样品,配有单转轴空心磁流体密封,样品旋转
高扭矩电机和控制器,转速0~30RPM可调
带冷却功能
主控系统控制开关,转速检测并显示
气动大挡板
系统自动控制西门子PLC+触摸屏手自动控制,可输入速率及终厚,PID调节自动控制蒸发电源输出
控制内容:机械泵,分子泵,气动、电磁阀门、真空计等等;自动抽真空、自动镀膜、自动排气等
完整的互锁保护(硬件、软件互锁),另外系统配备水流检测报警装置
安全保护缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护
对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施
真空室尺寸约L400*W400*H450mm
外形尺寸约L1000*W780*H2000mm
重量约360kg





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