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MSK-PSE-EC1515六源真空蒸镀仪配备3组有机束源式蒸发源炉+3组舟式蒸发源，可蒸镀切换最多6种有机材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料；设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，采用前滑动开门结构。设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
| 功能特点 |
|---|
真空腔室：采用304不锈钢腔室，设计有前门双导轨和后门手动铰链结构，前后门带玻璃观察窗及防污挡板。腔室内外表面经过抛光处理，并预留有照明、膜厚仪等设备接口；
真空系统：配备中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径与鲍斯BSV-30机械泵，具有高效的抽气能力，抽气时间短且极限真空度高（优于2.0×10-5Pa），关机12小时后仍可保持良好真空性能；
基片台：抽屉式结构，可承载最大L150mm*W150mm样品，配气动基片大挡板，支持旋转和水冷功能，与蒸发源距离可调，手动升降调节最大50mm可调；
蒸发源及电源：系统配置3组舟式蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构，最高温度可达1500℃；并配备2.4KW蒸发电源，支持恒流和恒压两种驱动模式，可手动/软件控制也可通过膜厚仪PID控制调节蒸发速率；
膜厚控制系统：采用进口INFICON公司的SQC-310膜厚仪，精度高达0.01埃，能自动控制金属蒸发电源输出。同时，还配备了西门子PLC+触摸屏手自动控制系统，可以输入速率和终厚，通过PID调节实现对蒸发电源输出的控制；
多项安全保护功能叠加，安全系数大大增加；
机械泵前加装分子筛，抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件，气路设计避免扬尘；
所有样品台、源挡板，样品台旋转均采用磁流体密封，保证系统长期稳定性。
六源真空蒸镀仪配备
| 技术参数 | |
|---|---|
| 电源 | 三相五线制AC380V±10%，频率：50Hz，总功率约8KW |
| 气源 | 压缩空气：干燥、干净、无水、无油的压缩空气，8mm塑料气管，压力5.5～6公斤（0.55-0.6MPA） 氮气：干燥氮气，用于设备腔室破真空，8mm塑料气管，压力1-2公斤（0.1-0.2MPA） |
| 水源 | 流量15-20升/分钟，15～25℃， 进水和出水压差3～4公斤，进水压力3～5公斤， 设备的进水和出水口外径1英寸， 建议在设备的进水口前安装一个球阀，方便调节水压和水流量 |
| 真空极限 | 真空极限优于2.0×10-5Pa 漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准） 关机12小时后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮气环境） |
| 抽速 | 抽气时间：大气压～5*10-4Pa，小于25min；（手套箱干燥氮气环境） |
| 真空室 | 304L不锈钢方形真空室，内部电抛光，立式前后开门结构 前门配有带档板直径4英寸观察窗1个（配防污玻璃），后门配有小观察窗用于观察样品源和样品2个（配防污玻璃） 内衬材质：不锈钢，多片结构方便拆卸安装 左侧：连接主阀门和分子泵，真空测量接口 顶部：安装旋转水冷样品台、样品台大挡板、膜厚仪接口各1个 底板：安装金属蒸发电极、有机束源蒸发源炉各3组（预留一组膜厚仪探头安装口） 真空室下方为一体式电控部分，配有万向轮和地脚，方便移动 |
| 抽真空系统 | 分子泵+机械泵组合式真空系统，气动阀门 分子泵：中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径，抽速：1300L/S 机械泵：BSV30机械泵，抽速：9L/S 真空阀门：DN40mm 挡板阀2套；中科科仪气动主阀DN200 1套 真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封，不常拆静密封采用无氧铜密封 |
| 真空计 | 复合真空计（一低一高2个真空计） 自动控制切换低真空、高真空测量，范围：大气到5E-9torr 真空读数输入PLC，用于工艺控制 |
| 蒸发源 | 配备3组舟式蒸发源。带2.4KW电源1套恒流恒压模式 配备3组有机束源蒸发源，配套3组坩埚，加热温度：0～700℃，角度可调范围：15° 配备3台有机蒸发电源，配备实时显示坩埚温度日本导电温控仪，可程序段控温 |
| 工件架 | 配有自转电动工件盘，一次性放置最大150*150mm样品，配有单转轴空心磁流体密封，样品旋转 高扭矩电机和控制器，转速0～30RPM可调 带冷却功能 主控系统控制开关，转速检测并显示 气动大挡板 |
| 系统自动控制 | 西门子PLC+触摸屏手自动控制，可输入速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源输出 控制内容：机械泵，分子泵，气动、电磁阀门、真空计等等；自动抽真空、自动镀膜、自动排气等 完整的互锁保护（硬件、软件互锁），另外系统配备水流检测报警装置 |
| 安全保护 | 缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施 |
| 真空室尺寸 | 约L400*W400*H450mm |
| 外形尺寸 | 约L1000*W780*H2000mm |
| 重量 | 约360kg |
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