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--小型等离子清洗机

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简要描述:--小型等离子清洗机
应用范围:PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Ø160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

产品型号: PCE-6

所属分类:钙钛矿太阳能电池制备

更新时间:2024-04-28

厂商性质:生产厂家

详情介绍
PCE-6--小型等离子清洗机的等离子腔体为Ø160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
功能特点
  • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间;

  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上;

  • 设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体,进气接口为6mm卡套接口;

  • 选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验;

  • --小型等离子清洗机

  • 设备可实现清洗及蚀刻功能如下:

    --小型等离子清洗机
技术参数
电源单相AC220V±10%,频率:50Hz/60Hz,总功率约600W(含真空泵)
输出功率7.2W、10.2W、29.6W
射频频率3.0MHz,功率3档可手动调节
等离子腔体高纯石英腔体,Ø160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Ø45mm的观察窗
真空泵标配直连式双旋真空泵,流量120L/min,功率约500W
极限真空度50mtorr
通入气体可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)
外形尺寸约L400*W300*H300mm(不含真空泵)
重量约10.2kg(不含真空泵)





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