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PCE-6--小型等离子清洗机的等离子腔体为Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
| 功能特点 |
|---|
通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间；
时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上；
设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为6mm卡套接口；
选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验；
--小型等离子清洗机
设备可实现清洗及蚀刻功能如下：
| 技术参数 | |
|---|---|
| 电源 | 单相AC220V±10%，频率：50Hz/60Hz，总功率约600W（含真空泵） |
| 输出功率 | 7.2W、10.2W、29.6W |
| 射频频率 | 3.0MHz，功率3档可手动调节 |
| 等离子腔体 | 高纯石英腔体，Ø160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Ø45mm的观察窗 |
| 真空泵 | 标配直连式双旋真空泵，流量120L/min，功率约500W |
| 极限真空度 | 50mtorr |
| 通入气体 | 可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定） |
| 外形尺寸 | 约L400*W300*H300mm（不含真空泵） |
| 重量 | 约10.2kg（不含真空泵） |
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