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UNIPOL-1203 化学机械磨抛机，适用于CMP 平坦化和平滑化工艺技术， 整机研磨部分采用防腐材料，
耐化学腐蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面
型加工的需求。
| 性能指标和基本配置 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 产品名称 | UNIPOL-1203 化学机械磨抛机 | |||
| 安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下，温度 25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及下排水 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：无 4、工作台：尺寸 800mm×600mm×700mm，承重200kg 以上 5、通风装置：不需要 | |||
| 主要特点 | 1、超平不锈钢抛光盘（平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）。 2、超精旋转轴（托盘端跳小于 0.01mm）。 3、设有两个加工工位，可分别进行控制。 4、配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。 5、配置自动滴料器，流量速率可视化调整，自动研磨和抛光。 6、配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。 7、研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。 | |||
| 技术参数 | 主机部分 1、电源:220V 2、功率:450W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2 个 5、摆臂调节档位:1-15 档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、不锈钢磨抛盘:φ300mm 8、载样盘:φ105mm 9、修盘环:φ127.5mm | GPC-100A 精密磨抛控制仪 1、载样盘直径：Ø103mm 2、载样盘轴向行程：12mm 3、数显表精度：0.001mm 4、载样盘可调加载压力：0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程：1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸：直径≤ 103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外径 146mm，高266mm | 自动滴料器 SKZD-2 滚筒滴料器 1、容积：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm；重量：3kg SKZD-4 自动滴料器 1、加液泵：4 个 2、料液瓶：600ml/瓶 3、计时范围：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm；重量：10kg | |
| 产品规格 | 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm 2、重量:74Kg | |||
| 标准配件 | 1 | 铸铁研磨盘 | 1个 |  |
| 2 | 不锈钢抛光盘 | 1个 |  | |
| 3 | 载物盘 | 1个 |  | |
| 4 | 修盘环 | 1个 |  | |
| 5 | SKZD-2 滴料器 | 1个 |  | |
| 6 | SKZD-4 自动滴料器 | 1个 |  | |
| 7 | GPC-100A 精密磨抛控制仪 | 1个 |  | |
| 8 | 抛光垫（磨砂革、合成革、聚氨酯） | 各1片 |  | |
| 9 | 刚玉研磨微粉 | 0.5kg |  | |
| 10 | 石蜡棒 | 4个 |  | |
| 可选配件 | 1、YJXZ-12 搅拌循环泵 2、精密测厚仪 3、陶瓷研磨盘 4、玻璃研磨盘 5、磁性树脂金刚石研磨片 | |||
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