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VTC-100PA 真空旋转涂膜机(加热型)

VTC-100PA 真空旋转涂膜机(加热型)

简要描述:VTC-100PA 真空旋转涂膜机(加热型)适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备

产品型号:

所属分类:提拉涂膜机

更新时间:2023-11-06

厂商性质:生产厂家

详情介绍

 

VTC-100PA(加热型) 真空旋转涂膜机

适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、

强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

 性能指标和基本配置
主要特点

● 真空吸附方式固定样件,操作简便。
● 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
● 根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
● 设有12组程序,每组包含6个运行阶段。
● 电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
● 50W/24V 直流电机
● 适于在Ar气环境中工作(真空泵放置在手套箱外)

参数

● 电机功率:50W/24V
● 速度范围:500-10000rpm
● 程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段
● 增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s
● 时间范围:0-60s
● 吸盘:Φ19mm、Φ60mm

进气口

上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆
image.png

可选加热部分

上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,最高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。
   image.png

产品尺寸

450mm×280mm×340mm;

产品重量

20kg

标准配件

1

真空吸盘(含O型圈)2个
2中心定位器(含4个定位柱)1个
3滴胶注射器(20ml)1个
4注射器支架1个
5AP-1400V无油真空泵1台
6橡胶管(含卡箍)1根
可选配件过滤器(真空泵用)
保修期一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

VTC-100PA(加热型) 真空旋转涂膜机

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