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VTC-200PV真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性
涂覆溶液的涂膜制备。本机可以对涂膜机腔室进行抽真空，使样品在全部真空的状态下进行涂膜，适用于
在空气中易氧化变质的薄膜材料的使用。VTC-200PV真空旋转涂膜机工作时利用真空盘吸附的方式将样品
固定在载样盘上，该设备可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段。不同运行阶段设备转数不同，使设备
缓慢提升速度，极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，且不会过多浪费，节约材料。VTC-200PV
真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中
进行薄膜的生成过程。
| 性能指标和基本配置 | |||
|---|---|---|---|
| 产品名称 | VTC-200PV真空旋转涂膜机 | ||
| 产品型号 | VTC-200PV | ||
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有进出水口 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：不需要 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：需要 | ||
| 主要特点 | 1、设有12组程序，每组包含6个运行阶段，每段增减速率设置范围：100—2000rpm/s,每段时间范围：0—60s。 2、样品可采用真空吸附的方式进行固定，也可采用粘结或夹持的方式进行固定，操作简便。 3、吸盘真空度可以达到-0.08MPa。 4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。 5、根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。 6、电机采用直流无刷电机，无级调速，可靠性高，适应性强，维修与保养简单，噪音低，震动小，运转平稳，启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。 7、当用真空吸附方式固定样品时采用无油双杠真空泵，体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。 8、可在惰性气体气氛下进行涂层 9、可在真空状态下进行涂层，此时需要用粘接基片或夹持基片的方式对被涂基片进行固定。 10、腔体通体采用聚丙烯材质，使用寿命更长，提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能。 11、全英文操作系统。 12、具有开盖保护功能，当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止. 13、控制器采用控制箱，液晶显示数值，更直观可靠。 | ||
| 技术参数 | 1、功率：350W/24V 2、转速：500rpm-6000rpm 3、时间：1s-60s 4、腔体真空度可达1Torr（VRD-8机械泵连续工作） | ||
| 产品规格 | 尺寸：Ø250mm×290mm；重量：25kg | ||
| 标准配件 | 1 | 真空吸盘 | 1个 |
| 2 | 夹持吸盘 | 1个 | |
| 3 | 无油真空泵 | 1台 | |
| 可选配件 | VRD-16机械泵 | 移液器 | 其它尺寸的真空吸盘 |
 |  |  | |
VTC-200PV 真空旋转涂膜机
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