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VTC-200PV真空旋转涂膜机

VTC-200PV真空旋转涂膜机

简要描述:VTC-200PV真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

产品型号:

所属分类:提拉涂膜机

更新时间:2023-11-06

厂商性质:生产厂家

详情介绍

 VTC-200PV真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性

涂覆溶液的涂膜制备。本机可以对涂膜机腔室进行抽真空,使样品在全部真空的状态下进行涂膜,适用于

在空气中易氧化变质的薄膜材料的使用。VTC-200PV真空旋转涂膜机工作时利用真空盘吸附的方式将样品

固定在载样盘上,该设备可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段。不同运行阶段设备转数不同,使设备

缓慢提升速度,极限速度,有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜,且不会过多浪费,节约材料。VTC-200PV

真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中

进行薄膜的生成过程。

 性能指标和基本配置
产品名称VTC-200PV真空旋转涂膜机
产品型号VTC-200PV
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有进出水口
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:不需要
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通风装置:需要
主要特点1、设有12组程序,每组包含6个运行阶段,每段增减速率设置范围:100—2000rpm/s,每段时间范围:0—60s。
2、样品可采用真空吸附的方式进行固定,也可采用粘结或夹持的方式进行固定,操作简便。
3、吸盘真空度可以达到-0.08MPa。
4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
5、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
6、电机采用直流无刷电机,无级调速,可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低,震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
7、当用真空吸附方式固定样品时采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。
8、可在惰性气体气氛下进行涂层
9、可在真空状态下进行涂层,此时需要用粘接基片或夹持基片的方式对被涂基片进行固定。
10、腔体通体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能。
11、全英文操作系统。
12、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止.
13、控制器采用控制箱,液晶显示数值,更直观可靠。
技术参数1、功率:350W/24V
2、转速:500rpm-6000rpm
3、时间:1s-60s
4、腔体真空度可达1Torr(VRD-8机械泵连续工作)
产品规格尺寸:Ø250mm×290mm;重量:25kg
标准配件1
真空吸盘
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1个
2
夹持吸盘
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1个
3
无油真空泵
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1台
可选配件VRD-16机械泵
移液器
其它尺寸的真空吸盘
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VTC-200PV 真空旋转涂膜机

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