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GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪

GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪

简要描述:GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al、Au等),也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟,且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

产品型号:

所属分类:蒸发镀膜设备

更新时间:2023-11-06

厂商性质:生产厂家

详情介绍

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜

(如Ti、Al 、Au等),也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟,且每个蒸镀舟都带有挡板。

若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,

是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

 性能指标和基本配置
主要特点

● 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
● 采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。
● 真空腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,方便快速取放样品,提高效率)、1个CF150闸板 阀(直接与分子泵相连)、1个KF16法兰(安装电阻规)、5个CF35法兰(1个安装电离规,4个备用,便于安装其他设备)。
● 在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。
● 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板,有效地避免蒸发时相互污染。
● 样品台安装在腔体的顶部。
● 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,精度为10Å。
● 可使用循环水冷机。
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技术参数

● 输入:单相AC208-240V,20A,50Hz/60Hz,<10KW
● 输出:0-8V AC 可调,最大电流400A,最大功率8000W(包括真空泵)
● 真空腔:Φ300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理
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● 腔门:Φ200mm
● 观察窗:Φ95mm,采用专用密封圈密封
● 真空泵:高抽速涡轮分子泵,抽速600L/s(标配GZK-103G分子泵)
● 真空度:5.0×10-6torr(泵开启40min后)
● 极限真空度:5.0×10-7torr (加热温度为100℃-150℃)
● 漏率:5.0×10-7Pa/s
● 样品台:Φ140mm
● 蒸发舟与样品台间距:260mm
● 冷却水需量:15L/min
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产品尺寸

650mm×1200mm×1600mm;

产品重量600kg
保修期一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
点击查看售后服务承诺书。


GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

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