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OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋转蒸发镀膜炉

OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋转蒸发镀膜炉

简要描述:OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋转蒸发镀膜炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5“x5“,并且顶部载样台可旋转,提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,

产品型号:

所属分类:蒸发镀膜设备

更新时间:2023-11-06

厂商性质:生产厂家

详情介绍

 

OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉

是一款5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。

此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其载样台尺寸5"x5",

并且顶部载样台可旋转,提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),

最大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,

这是一款理想的实验工具。

 性能指标和基本配置
产品特点

● 由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部,两温度控制器进行独立控温
● 最大升温速率为10℃/s
● 最高温度可达800℃
● 两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制
● 顶部载样台可旋转

工作电压

AC 220V, 50/60Hz (需要50A的空气开关)

真空法兰

● 空法兰为316不锈钢制作
● 顶部法兰(可通过控制盒进行上升和下降):
   机械压力表
   KF16接口,可以安装防腐真空计
   两个不锈钢精密针阀用于气体的进出
● 底部法兰:
   KF25接口,可以与真空泵相连接
   法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封:
   真空度:20Pa(机械泵)
   真空度:10-1Pa(分子泵)
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加热元件和载样台

● 由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部
● 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节(触摸屏控制)
● 顶部载样台转速可调(触摸屏控制)
● 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中,(不锈钢壳体采用316不锈钢制作)
● 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作为载样台,以达到较好的加热均匀性
● 注:可选购5"x5"的石墨坩埚放于底部载样台用来盛放蒸发原料,提高温度均匀性
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温控系统

● 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序
● 每个温控系统都带有超温和断偶保护
● PC通讯接口,软件可安装,可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

工作温度

● 最高工作温度为:800℃
● 两个加热区之间的最大温差为300℃

加热和冷却速率

● 建议加热速率≤ 10ºC/s(每个温区单独加热)
● 冷却速率> 10ºC/s (800 - 300ºC)

热电偶

两个K型热电偶,安装在顶部和底部,都与氮化铝陶瓷片相接触

可选

● 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机(58L/min)
● 实验时需要一个真空泵,可与本公司选购真空泵
● 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境,可换购无油泵
● 可选购质子流量计混气系统,将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中
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产品尺寸

790mm × 600mm × 1100mm
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应用注意事项● 炉管内气压不可高于0.02MPa。
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。
● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)。
保修期一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。


OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉

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