小型三靶等离子溅射仪

简要描述：VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型)，基片最大尺寸2英寸，加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜, 它可以与真空泵，不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。
VTC-16-3HD小型三靶等离子溅射仪

产品型号： VTC-16-3HD

所属分类：等离子镀膜设备

更新时间：2023-11-06

厂商性质：生产厂家

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详情介绍

VTC-16-3HD小型三靶等离子溅射仪是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型)，

基片最大尺寸2英寸，加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和

放置样品的直径是50mm . 旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜,

它可以与真空泵，不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。

性能指标和基本配置
主要参数	● 输入电源：220V 通用功率：< 1KW ● 工作电流：溅射电流：0-50 mA可调 ● 单次工作时间：0-5分钟可调 ● 靶头数目：3个 ● 输出电压：1600V DC ● 样品台加热温度：500℃（选配，详细请联系售后）
溅射腔体	● 采用石英腔体，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H ● 密封：O形密封圈密封
样品台	● 一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片，可以电动控制移动三个位置 ● 溅射距离：溅射距离可调 ● 可选购加热型样品台（最高温度可到500℃） ● PID控制器控温精度+/- 1℃（已集成到触摸屏上）
控制面板	● 控制面板为PLC，4.3" 触摸屏 ● 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度
真空泵（选配）	● 用机械泵真空度达 50 mtorr（仅供参考，详情请点击） ● 用分子泵真空度可达 10-4 torr（仅供参考，详情请点击）
进气口	一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量
靶材	● 要求安装靶材的尺寸：直径Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司选购靶材,具体请点击链接
各种靶材的参数（仅供参考）	对于溅射各种金属靶材，需要摸索最-理想的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数（仅供参考，详情请点击）
	靶材种类	真空度（Pa）	溅射电流（mA）	时间（s）	溅射次数
	Au	31-33	28-30	100	1
	Ag	31	28	100	1
产品尺寸	460mm×330mm×540mm (L×W×H)
净重	50 kg（不包括泵）
使用注意事项	● 由于能量低，该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al，Mg，Zn，Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节 ● 有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜 ● 为了得到较好的薄膜质量，必须通入高纯气体（建议> 5N） ● 在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净 ● 要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面 ● 超声波清洗（详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声（2）异丙醇超声-去除油脂（3）吹氮气干燥（4）真空烘箱除去水分。 ● 等离子清洗（详细参数点击下面图片):可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物 ● 制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力超声波清洗机等离子清洗机大功率磁控溅射仪蒸镀仪手套箱
警告	● 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体 ● 气瓶上应安装减压阀（设备标配不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用 ● 溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶
认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内点击查看售后服务承诺书。