GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪,可以设定程序,
精确控制温度200ºC~1500ºC(或者1200ºC~1700ºC),样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,
可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
性能指标和基本配置 | ||
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结构&特点 | ● 真空腔体为直径6英寸的石英腔体,便于清洁和放入样品 | |
基本参数 | ● 温度:最高1500℃ (1200℃以上<1h) | |
温控及加热源 | ● 采用钨丝篮作为发热源,并且配有专用的氧化铝坩埚,热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制 | |
样品台 | ● 仪器顶部安装有样品台,直径为Φ50mm,并设置有挡板,方便控制蒸发镀膜时间 | |
进气口 | ● 进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜 | |
真空计(可选) | 可选购一数显防腐真空计,测量范围为:3.8x10-5-1125Torr | |
膜厚检测仪(可选) | ● 可在本公司选购精密的石英振动薄膜测厚仪安装在溅射仪上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å | |
真空系统(选配) | ● 设备上有一KF25接口用于连接真空泵 | |
外形尺寸 | 490mm*330mm*560mm | |
使用提示 | ● 为了获得高真空度,可采用以下做法 | |
应用注意事项 | ● 使用温度高于1300℃时,保温时间不可大于1小时,否则会损坏密封圈 ● 当腔体的各阀门关闭时,请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热 ● 当仪器正在蒸发材料时,不可打开泄气阀或关闭真空泵,只有当加热温度降至100℃时,才可放气或关闭真空泵 ● 蒸镀电流不宜大于40A ● 如误将控温仪表设为手动状态,程序将不能正常运行 ● 此设备仪表程序为秒,200℃之前升温速度不宜大于0.5℃/S ● 如果用户选购了STC-2型薄膜测厚仪,在选用取样片时请按:镀纯金属时用金取样片,镀合金时用银取样片 ● 钨丝篮必须在真空状态下(<5Pa才能通电加热,否则会被氧化) | |
质量认证 | 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证CE认证/ | |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪
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