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PCE-22 紫外臭氧清洗机

PCE-22 紫外臭氧清洗机

简要描述:PCE-22 紫外臭氧清洗机是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。

产品型号:

所属分类:臭氧清洗机

更新时间:2023-11-06

厂商性质:生产厂家

详情介绍

PCE-22 紫外臭氧清洗机

性能指标和基本配置
主要参数

● 功率:最大350W
● AC 208~240V,单相 50/60Hz

应用

● 去除分子级别的污染物
● 紫外光固化粘合剂
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蚀
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

紫外灯

● 可发出双波长的水银灯
● 功率:55W
● 发出光的波长:254 nm 和 185 nm
● 使用寿命:2500 小时(可更换)
● 照射区域:200 x 200 mm
1

腔体&样品台

● 不锈钢壳体
● 抽屉式样品台,以便放样取样
● 样品台面积310 mm x 320 mm
● 臭氧通风装置安装在腔体上
● 样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调)
● 样品台可以加热,最高温度可达150℃
● 可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃
● 设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时
1

排气口

● 直径为80mm的排气口安装在仪器后端
● 请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外
● 仪器中不包含橡胶管
1

环境要求

● 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;
● 温度范围:41-104华氏度;
● 最大相对湿度80%,最高87华氏度,104华氏度线性降至50%相对湿度;
● 主电源波动不超过额定电压的10%;
● 污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb。

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
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净重28kg
认证

所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
1

保修期一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

PCE-22 紫外臭氧清洗机

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