PCE-44-LD是一款小型紫外臭氧清洗机,可用于清洗各种单晶基片,以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
技术参数 | |
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电源 | ● AC 208~240V,单相 50/60Hz |
紫外灯 | ● 可发出双波长的水银灯 ● 功率:55W ● 发出光的波长:254nm 和185nm ● 使用寿命:2500 小时(可更换) ● 照射区域:100 x 100 mm ● 光照强度:4.6 mw/cm2 |
腔体 & 样品台 | ● 抽拉盒尺寸: 133 x 133x 25mm ● 支架尺寸: 100mmx 100mm x 19 ● 抽屉底座与紫外灯的距离:27mm ● 样品台与紫外灯的距离:8mm |
应用 | ● 去除分子级别的污染物 ● 紫外光固化粘合剂 ● 紫外光催化 ● 氧化PDMS ● 表面消毒 ● 刻蚀 ● 清洗MEMS 器件 ● 清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片 |
环境要求 | ● 仅室内使用; 海拔高度在5,562英尺以内 ● 温度范围41-104华氏度 ● 大相对湿度80%,大87华氏度,104华氏度线性降至50%相对湿度 ● 主电源波动不超过标称电压的10% ● 污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb |
外形尺寸 | ● 240mm*200mm*152mm |
净重 | 4Kg |
认证 | CE认证 |
质保期 | ● 一年保修,终身技术支持。 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 ● 点击查看售后服务承诺书。 |
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