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详情介绍
| 功能特点 |
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- 结构紧凑、小型化的桌上型仪器；
- 用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物；
- 在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀膜的质量可以更好；
- 铰链式门，方便装样；
- 石英腔的直径是3英寸，在里面可以放入一个石英舟，大清洗一个2英寸的基片；
- 清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更换；
- 使用可调射频电源，可以设置功率为低、中、高级别；低成本、操作安全；
| 技术参数 | |
|---|---|
| 主要参数 |
● 低功率设定：直流680V，10mA,6.8W ● 中功率设定：直流700V，15mA,10.5W ● 高功率设定：直流720V，25mA,18W ● 射频源输出频率：13.56MHz ● 等离子直流电源 ● 输入电压：220V,50Hz
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| 等离子腔室 |
● 直径75mmx长200mm的石英墙体，前盖可以开启 ● 高纯度石英腔体，使用寿命比玻璃长
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| 真空计 | ● 设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。
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| 可选配件 |
● 您可以订购额外的石英腔体，用于备用 ● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合（点击下面图片了解详情） ● 您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片 ●
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| 真空泵和阀 |
● 此设备不包含真空泵 ● 您可以点击下方图片了解真空泵信息 ●
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| 工作气体 |
● 多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。 ● 可以使用<4％的H2混合惰性气体 ● 警示：不能使用可燃性及腐蚀性气体
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等离子清洗及刻蚀的方法 |
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| 外形尺寸 |
353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
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| 净重 |
8kg（不含泵）
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| 认证 |
CE认证
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| 质保期 |
● 一年保修，终身技术支持。 ● 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 ● 点击查看售后服务承诺书。
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| 工作原理 |
等离子清洗机工作原理 |
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