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PCE-500W 500W等离子刻蚀清洗机

PCE-500W 500W等离子刻蚀清洗机

简要描述:PCE-500W 500W等离子刻蚀清洗机是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机,等离子腔体为 8.5 “dia x 14.4“L的石英腔体,采用的射频电源频率为13.56MH,功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高,可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用,对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

产品型号:

所属分类:等离子清洗机

更新时间:2023-11-06

厂商性质:生产厂家

详情介绍

PCE-500W 500W等离子刻蚀清洗机是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔体,采用的射频电源频率为13.56MH,功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高,可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用,对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

 性能指标和基本配置
主要参数

● 射频功率:0-500W
● 总功率:1.5KW
● 电源:AC220V 50/60Hz

射频电源

● 射频功率可在0-500W之间调节
● 频率:13.56MHz
● 注:可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机

等离子腔体

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体
● 铝制折叠式法兰来进行真空密封
● 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口
● 此设备完、全屏蔽射频辐射,零射频泄漏

控制面板

● 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等
● 仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

真空泵(选配)

● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵
● 极限真空度为80mTorr(参考值,具体请点击)
1

通入气体

● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)
● 不能使用易、燃、气、体及腐蚀性气体。

可选

● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片
● 可选购2-4通道质子或浮子混气系统
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产品尺寸

600mm L×600mm W×810mm H
1

相关应用

● 请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率
● 对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 -100W之间
● 对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在300-500W之间

质量认证

CE认证

保修期一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

PCE-500W 500W等离子刻蚀清洗机

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