GSL-1100X-PJF 等离子表面处理仪

简要描述：GSL-1100X-PJF 等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统，主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件下，迅速活化和清理材料表面。例如单晶片、光学元件、塑料等广泛的材料。为了获得高质量的外延薄膜或者光学涂层，预*行表面处理可以得到显著的效果。

产品型号：

所属分类：等离子清洗机

更新时间：2023-11-06

厂商性质：生产厂家

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详情介绍

GSL-1100X-PJF 等离子表面处理仪是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品，有自动控制的样品台，就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理，保证处理样品表面的一致性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台（带有真空吸盘和控制盒）。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面，可处理的样品有单晶片，光学元件和塑料等，也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

性能指标和基本配置
主要参数	● 工作环境：温度 < 42°C，湿度 ≤ 40℃RH ● 输入电源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W ● 等离子体工作压力
RF发生器	● 输出频率：20-23kHz , 25KV ● 等离子枪头：仪器中包括两种等离子枪头：圆形头：10-12mm，矩形头：15-18mm
输入气体气压，工作气体	● 40 PSI min.(0.055 Mpa) ● Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )
样品台和控制柜	● 配有可在X-Y轴移动的样品台，通过步进电机驱动，采用SBC控制盒控制 ● 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离 ● 控制盒采用LCD显示，可设置其等离子枪头的扫描程序。 ● 最大扫描范围：8" x 9" ● 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上，可吸住直径为6"的样品。 ● 配有一真空泵，可与真空吸盘相连接 ● 整个系统安装在一移动架上（600x600x 800Lmm） ● 可选：可选加热样品台（最高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。
外形尺寸	处理样品台尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H
净重	55kg
文献	请点击链接以了解更多关于AP-PECVD应用的信息：常压等离子体增强化学气相沉积（AP-PE-CVD）用于在低温下生长薄膜。
质量认证	所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。